第二天上午八点半。
整机测试中心。
陈知远跟着顾明远走进控制室时，老梁已经在里面守了半个多小时。
几块显示屏上，密密麻麻排列着设备状态、控制指令和测量曲线。
隔着观察窗，原型平台正在做最后一轮检查。
“来得正好。”
老梁把一份测试安排递过来。
“昨晚我们把新模型又跑了一遍。控制接口已经适配好，安全检查也过了。”
“今天先按规定工况做新旧方案对照，出了范围就自动切回原来的控制策略。”
陈知远扫了一眼。
“光学系统的负荷变化按昨天说的来？”
“对，测试条件尽量保持一致，先把最麻烦的那段动态漂移拿出来看。”
陈知远点头：“那就开始吧。”
周启山这时走了进来。
老人手里端着杯茶，看到两人已经在确认参数，笑道：
“都这么积极？我还想着先给你们半个小时准备呢。”
“准备了一晚上，再准备下去也不见得能多出什么。”老梁说。
“行。”周启山把茶杯放下。
先上的是原控制方案。
工作人员按照既定流程启动测试，光学系统的工作负荷逐步变化，工件台按照原有策略进行动态修正。
起初，一切正常。
可运行到预定阶段时，屏幕上那条位置偏移曲线，还是慢慢抬了起来。
老梁盯着数据，脸上的表情没有变化。
这种场面，他这三个月已经见过太多次。
测试结束，测量结果很快汇总出来。
“指定工况下，热耦合引起的峰值位置漂移，四点五纳米。”
负责计量的研究员报出数字。
老梁把它记在对照表里，“跟之前差不多，基准没问题。”
有人转过头，看向陈知远。
别看昨天的离线验证做得漂亮，真上了机器，情况可未必会按模型走。
毕竟这里不是电脑上的几条曲线。
不同系统只要有一个环节响应不对，改进就可能打折，甚至适得其反。
陈知远却没急着盯结果，而是确认了一遍新方案的退出条件。
“超出预设范围，自动恢复原策略，切换记录要完整保留。”
“已经设置好了。”老梁回答。
“那就上新方案。”
工作人员按照程序加载了经过审核的动态补偿参数。
周启山站在屏幕前，没再说话。
第二轮测试启动。
同样的负荷变化，同样的测试节拍。
屏幕上的几条曲线开始往前延伸。
负责控制的年轻研究员最先注意到变化。
“梁工，你看这里。”
老梁探过身。
之前每到这个阶段，光学状态变化和工件台补偿总会有一段明显的错位。
系统不断修正，结果却像在追一个始终慢半拍的目标。
而现在，那段变化刚刚出现，控制指令就已经提前作出了调整。
位置偏移仍然存在，却没有像旧方案那样持续扩大。
“有改善。”老梁声音压得很低。
旁边的人忍不住接了一句：“而且不是一点点。”
“先别急着下结论。”陈知远看着屏幕，“等测量结束。”
又过了一会儿，第一轮新方案测试完成。
工作人员把测量结果导入对照表。
有人下意识咽了口唾沫。
“四点五……”
他先看了一眼旧方案的数据，又看向新一栏。
“一点八纳米。”
老梁猛地抬头。
“多少？”
“一点八。”
年轻研究员干脆把报告投到了大屏幕上。
原方案：4.5纳米。
新方案：1.8纳米。
同一指定工况下，热耦合造成的峰值位置漂移，降低了百分之六十！
控制室里响起一阵低低的议论声。
“百分之六十？”
“之前我们调了那么多轮，能降一点都不容易……”
“等一下，先检查是不是测量口径变了。”
老梁已经走到计量组那边。
他一项项核对测试条件、原始记录和计算方式，连中途有没有发生自动回退都查了一遍。
没有。
两轮测试采用的是同一套测量口径，新方案也完整执行到了结束。
这次改善，是真真切切出现在整机上的。
老梁盯着那两个数字，好一会儿才转头。
“陈知远。”
“嗯？”
“你小子这回……真给我们干了件大事。”
陈知远笑了笑。
“现在高兴还早，只是一种工况，而且只解决了其中一类漂移。”
“我知道。”
老梁抬手指向屏幕，声音却忍不住高了几分。
“可你知道我们为了这类误差折腾多久了吗？三个月！”
“三个月，光是重复排查就排了不知道多少次，现在你一套办法上去，直接少了六成！”
顾明远站在一旁，听得眉开眼笑。
前天周启山让陈知远参与整机讨论时，还只是希望这个年轻人能提供点新思路。
谁能想到，两天工夫，思路已经变成了机器上看得见的成绩。
周启山没有立刻说话。
他拿过完整报告，先看了测试工况，又看了参数切换记录，最后才抬起头。
“确实漂亮。”
老人笑着拍了拍陈知远的肩膀。
“不过，你刚才那句话说得对，一次漂亮，不算真正站稳。”
“再来？”陈知远问。
“当然再来！”
第二轮、第三轮测试接连进行。
这次不用谁催，工作人员个个比刚才还认真。
数据陆续出来。
一点九纳米。
一点七纳米。
并不是每次都完全相同，但都稳定落在明显优于原方案的区间里。
更重要的是，系统没有出现异常的补偿振荡，也没有触发预设的回退条件。
当第三份报告打印出来时，老梁终于忍不住笑出了声。
“成了！”
旁边的年轻研究员跟着握紧拳头。
他们当然知道，这还远远不是整台EUV光刻机的综合精度，更谈不上已经具备稳定量产能力。
但这并不妨碍他们激动。
因为困扰整机联调数月的一类关键漂移，终于有了能够在真实设备上重复兑现的解决办法。
周启山把三份报告摊在一起。
“顾明远。”
“周院士？”
“你当初把人往我们这儿推荐的时候，说他值得试试。”
周启山笑着摇了摇头。
“你这哪里是给我推荐了一个学生啊。”
顾明远也笑了：“我倒是想多夸两句，怕您以为我吹牛。”
“现在不用你吹。”
周启山敲了敲桌上的测试报告。
“成绩在这儿摆着。”
他随即转向老梁。
“把今天的对照结果整理出来，连同风险边界一起送专项技术组，动态补偿这条路线，正式列入下一阶段整机控制优化安排。”
“明白！”
“还有，后续方案由知远继续牵头，该配合的人员、设备窗口，你们提前协调。”
老梁答应得十分干脆。
放在两天前，要说让一个十九岁的大学生牵头推进国家重大专项中的整机控制优化，恐怕不少人都会觉得离谱。
可现在，控制室里的几位研究员没有一个觉得不妥。
这个年轻人的本事，他们已经亲眼见识过了。
陈知远倒没把这些话放在心上。
他正低头翻看第三轮的记录。
“周院士。”
“怎么？”
“短时间的受控测试没问题，不代表连续运行也能保持这个效果。”
周启山看了他一眼，笑容更深了。
“想到一块儿去了。”
“我打算申请下一次长时间测试窗口，把负荷变化和不同运行节拍都加进去。那才是真正难啃的骨头。”
“可以。”陈知远合上报告，“不过我建议把工况变化一起纳入，别只在今天这个条件下重复跑。”
老梁听得直咧嘴。
“刚干成一件事，就准备给自己加难度？”
“早晚要测。”陈知远笑道，“现在模型哪里好用、哪里不好用，我心里反而更清楚，趁热打铁比较合适。”
周启山看着他，点了点头。
“行，就按这个方向准备。”
他拿起电话，通知整机测试组协调连续运行验证窗口。
放下手机时，屏幕上还并排显示着今天的三组结果。
4.5纳米。
1.8纳米。
百分之六十。
那不过是一项局部指标的改善，却是他们已经盼了很久的实实在在的进展。
而对陈知远来说，这还只是开始。
下一次，他们要面对的，将不再是短短一轮测试。
而是这台国产EUV光刻机在持续运行中，真正暴露出来的难题。