在看了材料组的情况之后。
林决又来到EUV光学平台总实验室内。
在新材料的研发过程中。
光学组这边也没闲着,一直在对林氏函子光学变式,零偏映射装入整机的方案,进行着不断的改进和测试。
林决打开门走进实验室,那股熟悉的臭氧味瞬间迎面而来。
皱着眉适应了好一会儿,陈望山才笑呵呵道,
“我还以为在交流会结束后,你还得跟那些数学机构应酬呢。”
林决笑道,
“老师我可没那个精力,让学校去管吧,还是实验室待着不烧心......”
正在调试光路的蒋墨闻言后也不回道,
“这话我爱听!得劲儿!”
在场众人闻言,不禁都是都是笑了出来。
大家能来参与这个项目,目的都挺纯粹的!
那便是搞出一台完全自主研发,达到国际一流水平的光刻机!
“好了,大家先停一下!我们开个短会。”
林决到拍了拍手,然后把众人叫到办公室。
“老师,先具体说说最近一周的情况。”
陈望山点了点头,
“首先,零偏映射方案电路优化调试达到最优水准,还是延续之前的结果,进入整机后,本周内只报错一次,其余时间全部通过。”
“这个成绩极其亮眼,已经达到装机水平了。”
“可以。”
林决点了点头,并没有丝毫意外。
紧接着,其余各个岗位也开始跟进汇报。
约莫十五分钟后。
陈望山基本将本周光学组进度完全告知后,林决满意点了点头,
“ ......目前看来,我们进度非常完美!”
“多层膜误差的工作,基本可以进行收尾了.......”
说着,林决呼出一口气,
“那么按照计划.......接下来,就是搞定EUV光源的源头问题!”
听到林决的话,在场众人立马来了精神。
因为林决所说的光源,差不多可以说是是关于自研光刻机的“心脏”问题了!!
当然了......
这在国内自主研发中,并非一个从零开始的工程,而是已经有一定积累了。
在京城光机所的EUV实验室,现在便具有从关键零部件到锡滴板等核心单元的技术。
不过即使如此。
它依旧存在一个源头性的根源问题,即——
【高重频下,锡滴靶的稳定生成与精准打靶】。
其核心原理是:
让每秒数万甚至数十万级的微小锡滴液。
在大小,速度,间距上保持一致的同时,又得让驱动激光以微米级精度,纳米级时序逐颗命中!
这个命中效率......
直接决定光源到EUV系统中的转和效率,功率上限,以及长期运行稳定寿命......
只有这个环节实现成功。
光刻机中的“刻”这个环节,才算真正跑通了。
而在这之前,解决光刻胶,还有解决多层膜误差问题,在本质上来说......便是解决【精准打靶】的前置条件!
而在目前......
这个方向,也是自主研发中光源系统最弱势的。
因为落到完全光源系统中的时候,目前无法解决激光打靶中微偏移,热变形,气流扰动,落点的积累误差......
虽然在单一节点光机所还能稍微控制一下。
但在光源不断传播中,动态误差和静态误差几乎都是呈指数级上升,偏差越来越大!
也是因此......
最后光源将锡滴液打到硅板上的光路成像质量,那画面......便属实惨不忍睹......
不过这一次。
林决倒是并未立马提出自己的想法,而是先问了问大家,
“嗯......大家有没有什么好的方案?”
闻言,众人你看我我看你。
过了好半晌,蒋默才开口道,
“你说就行,我们照做,短时间想这种方案,这不是难为我们这群老头子吗?”
闻言,房怀年笑了出来,
“哈哈哈,路径依赖了啊这是。”
蒋默翻来个白眼,
“你就说你有没有吧!”
房怀年乐邦摊手,“好吧我承认......我也是。”
陈望山哭笑不得,这些老友脸皮还真是厚啊。
紧接着,其他人也是开口。
“我们哪有什么想法,林教授您带头就行!”
“反正我们想再多,也是不如您的......”
“就是就是......”
一时间,现场的氛围无比欢快。
他们倒是并没拍林决马屁,说的全是肺腑之言啊。
林教授才来光机所多久!?
就把之前卡了许久的光刻胶材料和多层膜问题搞定了!
面对这种天才......
他们只用当恕瑞玛沙兵,连接网络就行!
那话怎么说来着......
林决一声令下,众人血手已经触发!
众人的话让林决都是哭笑不得。
不过嘛......
这种所有劲儿都往一处使的团队,效率才是最高的。
“行,那我就说说接下来的打算.......”
在安阳之行的这段时间内。
林决利用空余时间,一直在做着相关方面的推进。
在以往的工作中......
他已经通过对光刻机理论的完善,打造出了一套属于自己的光刻体系。
光路发射,镜片反射,气流湍流,硅片晶格的热漂移,动态成像......
光刻机内部充满着各种变化。
在林决脑海中,早已经形成了一个相对静止画面。
仿佛有个相对静止的微观坐标系,将所有节点都清晰标注出来!!!
从前......
人类是让光束适配混乱的微观世界。
但现在......
林决想做的事情完全反了过来!
他要重构微观世界,他要让光刻机的微观世界去适应光束!
让这个问题,从物理根源上,彻底归零!!!
这个原创黑科技系统。
林决叫它......
“......量子场动态自校准光刻系统!?”
众人看着林决在大屏幕上打出来的那个标题,脸上不禁充满了疑惑。
“是的!”
林决点头,
“我要......让量子场作为光刻基准!”
听到这话,在场的学者和工程师们神情充满愕然。
因为他们听说过光路校准,工件台校准,大气涡流校准。
但.......
用量子场来校准光刻光源.......
包括陈望山,蒋墨,房怀年,卢敬尧这些国内顶尖光学大牛们,也都从未涉足!
此时他们在听到林决的话后,表情就像李渊听到李世明要节制天下兵马一般!
除了懵逼之外,更多的......是惊恐和惊吓!
“等等!动态校准......也就是说,它是在光源打靶同时,进行实时修正吗?”
“这是优化打靶问题吗?林教授,你这是要改写微观曝光的物理规则啊!!!”