字: 大 中 小
关灯 护眼
三月小说 > 我一学渣,怎么还题压抑了? > 第386章 光源打靶问题,改写微观曝光物理规则!

第386章 光源打靶问题,改写微观曝光物理规则!

    在看了材料组的情况之后。

    林决又来到EUV光学平台总实验室内。

    在新材料的研发过程中。

    光学组这边也没闲着,一直在对林氏函子光学变式,零偏映射装入整机的方案,进行着不断的改进和测试。

    林决打开门走进实验室,那股熟悉的臭氧味瞬间迎面而来。

    皱着眉适应了好一会儿,陈望山才笑呵呵道,

    “我还以为在交流会结束后,你还得跟那些数学机构应酬呢。”

    林决笑道,

    “老师我可没那个精力,让学校去管吧,还是实验室待着不烧心......”

    正在调试光路的蒋墨闻言后也不回道,

    “这话我爱听!得劲儿!”

    在场众人闻言,不禁都是都是笑了出来。

    大家能来参与这个项目,目的都挺纯粹的!

    那便是搞出一台完全自主研发,达到国际一流水平的光刻机!

    “好了,大家先停一下!我们开个短会。”

    林决到拍了拍手,然后把众人叫到办公室。

    “老师,先具体说说最近一周的情况。”

    陈望山点了点头,

    “首先,零偏映射方案电路优化调试达到最优水准,还是延续之前的结果,进入整机后,本周内只报错一次,其余时间全部通过。”

    “这个成绩极其亮眼,已经达到装机水平了。”

    “可以。”

    林决点了点头,并没有丝毫意外。

    紧接着,其余各个岗位也开始跟进汇报。

    约莫十五分钟后。

    陈望山基本将本周光学组进度完全告知后,林决满意点了点头,

    “ ......目前看来,我们进度非常完美!”

    “多层膜误差的工作,基本可以进行收尾了.......”

    说着,林决呼出一口气,

    “那么按照计划.......接下来,就是搞定EUV光源的源头问题!”

    听到林决的话,在场众人立马来了精神。

    因为林决所说的光源,差不多可以说是是关于自研光刻机的“心脏”问题了!!

    当然了......

    这在国内自主研发中,并非一个从零开始的工程,而是已经有一定积累了。

    在京城光机所的EUV实验室,现在便具有从关键零部件到锡滴板等核心单元的技术。

    不过即使如此。

    它依旧存在一个源头性的根源问题,即——

    【高重频下,锡滴靶的稳定生成与精准打靶】。

    其核心原理是:

    让每秒数万甚至数十万级的微小锡滴液。

    在大小,速度,间距上保持一致的同时,又得让驱动激光以微米级精度,纳米级时序逐颗命中!

    这个命中效率......

    直接决定光源到EUV系统中的转和效率,功率上限,以及长期运行稳定寿命......

    只有这个环节实现成功。

    光刻机中的“刻”这个环节,才算真正跑通了。

    而在这之前,解决光刻胶,还有解决多层膜误差问题,在本质上来说......便是解决【精准打靶】的前置条件!

    而在目前......

    这个方向,也是自主研发中光源系统最弱势的。

    因为落到完全光源系统中的时候,目前无法解决激光打靶中微偏移,热变形,气流扰动,落点的积累误差......

    虽然在单一节点光机所还能稍微控制一下。

    但在光源不断传播中,动态误差和静态误差几乎都是呈指数级上升,偏差越来越大!

    也是因此......

    最后光源将锡滴液打到硅板上的光路成像质量,那画面......便属实惨不忍睹......

    不过这一次。

    林决倒是并未立马提出自己的想法,而是先问了问大家,

    “嗯......大家有没有什么好的方案?”

    闻言,众人你看我我看你。

    过了好半晌,蒋默才开口道,

    “你说就行,我们照做,短时间想这种方案,这不是难为我们这群老头子吗?”

    闻言,房怀年笑了出来,

    “哈哈哈,路径依赖了啊这是。”

    蒋默翻来个白眼,

    “你就说你有没有吧!”

    房怀年乐邦摊手,“好吧我承认......我也是。”

    陈望山哭笑不得,这些老友脸皮还真是厚啊。

    紧接着,其他人也是开口。

    “我们哪有什么想法,林教授您带头就行!”

    “反正我们想再多,也是不如您的......”

    “就是就是......”

    一时间,现场的氛围无比欢快。

    他们倒是并没拍林决马屁,说的全是肺腑之言啊。

    林教授才来光机所多久!?

    就把之前卡了许久的光刻胶材料和多层膜问题搞定了!

    面对这种天才......

    他们只用当恕瑞玛沙兵,连接网络就行!

    那话怎么说来着......

    林决一声令下,众人血手已经触发!

    众人的话让林决都是哭笑不得。

    不过嘛......

    这种所有劲儿都往一处使的团队,效率才是最高的。

    “行,那我就说说接下来的打算.......”

    在安阳之行的这段时间内。

    林决利用空余时间,一直在做着相关方面的推进。

    在以往的工作中......

    他已经通过对光刻机理论的完善,打造出了一套属于自己的光刻体系。

    光路发射,镜片反射,气流湍流,硅片晶格的热漂移,动态成像......

    光刻机内部充满着各种变化。

    在林决脑海中,早已经形成了一个相对静止画面。

    仿佛有个相对静止的微观坐标系,将所有节点都清晰标注出来!!!

    从前......

    人类是让光束适配混乱的微观世界。

    但现在......

    林决想做的事情完全反了过来!

    他要重构微观世界,他要让光刻机的微观世界去适应光束!

    让这个问题,从物理根源上,彻底归零!!!

    这个原创黑科技系统。

    林决叫它......

    “......量子场动态自校准光刻系统!?”

    众人看着林决在大屏幕上打出来的那个标题,脸上不禁充满了疑惑。

    “是的!”

    林决点头,

    “我要......让量子场作为光刻基准!”

    听到这话,在场的学者和工程师们神情充满愕然。

    因为他们听说过光路校准,工件台校准,大气涡流校准。

    但.......

    用量子场来校准光刻光源.......

    包括陈望山,蒋墨,房怀年,卢敬尧这些国内顶尖光学大牛们,也都从未涉足!

    此时他们在听到林决的话后,表情就像李渊听到李世明要节制天下兵马一般!

    除了懵逼之外,更多的......是惊恐和惊吓!

    “等等!动态校准......也就是说,它是在光源打靶同时,进行实时修正吗?”

    “这是优化打靶问题吗?林教授,你这是要改写微观曝光的物理规则啊!!!”
『加入书签,方便阅读』